Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2007 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-3009-4 KITopen-ID: 170067567 |
HGF-Programm | 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
Seiten | 485-87 |
Erscheinungsvermerk | Gessner, T. [Hrsg.] Smart Systems Integration 2007 : 1st European Conf.and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, MOEMS, ICs and Electronic Components, Paris, F, March 27-28, 2007 Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2007 Inkl.CD-ROM |