Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2007 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-3033-9 KITopen-ID: 170067986 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
Erscheinungsvermerk | Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop, Karlsruhe, 7.-8.Mai 2007 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2007 S.73-76 (GMM-Fachbericht ; 53) Inkl.CD-ROM Galvanotechnik, 98(2007) S.1994-97 |