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Entwicklung und Optimierung der ultraschallunterstützten Reinigung von mikrostrukturierten Formeinsätzen

Guttmann, M.; Erdmann, G.; Laier, R.; Winkler, F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2007
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-3033-9
KITopen-ID: 170068127
HGF-Programm 43.01.03 (POF I, LK 01)
Seiten 217-23
Erscheinungsvermerk Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop, Karlsruhe, 7.-8.Mai 2007 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2007 (GMM-Fachbericht ; 53) Inkl.CD-ROM
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