Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2007 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-3033-9 KITopen-ID: 170068127 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
Seiten | 217-23 |
Erscheinungsvermerk | Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop, Karlsruhe, 7.-8.Mai 2007 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2007 (GMM-Fachbericht ; 53) Inkl.CD-ROM |