Laser-based micro- and nanopackaging and assembly
Pfleging, W.
; Lu, Y.; Washio, K.; Bachmann, F. G.; Hoving, W.
; Lu, Y.; Washio, K.; Bachmann, F. G.; Hoving, W.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Proceedingsband |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-0-8194-6572-6 KITopen-ID: 170068413 |
| HGF-Programm | 43.01.02 (POF I, LK 01) Strukturierung |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of Photonics West: Lasers and Applications in Science and Technology, San Jose, Calif., January 20-25, 2007 Bellingham, Wash. : SPIE, 2007 (SPIE Proceedings Series ; 6459) |