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Robust trimorph bulk SMA microactuators for batch manufacturing and integration

Braun, S.; Grund, T.; Ingvarsdottir, S.; van der Wijngaart, W.; Kohl, M.; Stemme, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 1-4244-0842-3
KITopen-ID: 170068523
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01)
Seiten 2191-94
Erscheinungsvermerk 14th Internat.Conf.on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), Lyon, F, June 10-14, 2007 Proc.on CD-ROM Piscataway, N.J. : IEEE, 2007
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