Robust trimorph bulk SMA microactuators for batch manufacturing and integration

Braun, S.; Grund, T.; Ingvarsdottir, S.; Wijngaart, W. van der; Kohl, M.; Stemme, G.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2007
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 1-4244-0842-3 KITopen-ID: 170068523
HGF-Programm	43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Seiten	2191-94
Erscheinungsvermerk	14th Internat.Conf.on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), Lyon, F, June 10-14, 2007 Proc.on CD-ROM Piscataway, N.J. : IEEE, 2007