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Instrumentation for microfabrication with deep X-ray lithography

Pantenburg, F.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-0-7354-0373-4
KITopen-ID: 170068827
HGF-Programm 55.51.10 (POF I, LK 02)
Seiten 1456-61
Erscheinungsvermerk Choi, J.Y. [Hrsg.] Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2006) : 9th Internat.Conf., Daegu, Korea, May 28 - June 2, 2006 Melville, N.Y. : AIP, 2007 (AIP Conference Proceedings ; 879)
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