Instrumentation for microfabrication with deep X-ray lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-0-7354-0373-4 KITopen-ID: 170068827 |
| HGF-Programm | 55.51.10 (POF I, LK 02) Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers. |
| Seiten | 1456-61 |
| Erscheinungsvermerk | Choi, J.Y. [Hrsg.] Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2006) : 9th Internat.Conf., Daegu, Korea, May 28 - June 2, 2006 Melville, N.Y. : AIP, 2007 (AIP Conference Proceedings ; 879) |