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Adaptive Silikonmembranlinsen mit integriertem Piezo-Aktor

Schneider, F.; Müller, C.; Ulmer, U.; Eberhard, D.; Besser, H.; Pfleging, W.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2007
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-3061-2
KITopen-ID: 170069472
HGF-Programm 43.01.02 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk MikroSystemTechnik Kongress 2007, Dresden, 15.-17.Oktober 2007 Proc.S.489-92 Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2007 Inkl.CD-ROM
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