Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2007 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-3061-2 KITopen-ID: 170069472 |
HGF-Programm | 43.01.02 (POF I, LK 01) Strukturierung |
Erscheinungsvermerk | MikroSystemTechnik Kongress 2007, Dresden, 15.-17.Oktober 2007 Proc.S.489-92 Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2007 Inkl.CD-ROM |