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Charakterisierung mikrooptischer Abstandssensoren aus einer Versuchsfertigung. Beurteilung der Bauteil- und Montagetoleranzen

Hollenbach, U.; Gartner, M.; Grund, T.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2007
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-3061-2
KITopen-ID: 170070185
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Geßner, T. [Hrsg.] Mikrosystemtechnik-Kongress, Dresden, 15.-17.Oktober 2007 Proc.S.853 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2007 inkl.CD-ROM
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