Novel fabrication process for the integration of MEMS devices with thick amorphous soft magnetic field concentrators
Brugger, S.; Pfleging, W.
; Paul, O.
; Paul, O.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-55899-990-9 KITopen-ID: 170070751 |
| HGF-Programm | 43.01.02 (POF I, LK 01) Strukturierung |
| Erscheinungsvermerk | LaVan, D. [Hrsg.] Microelectromechanical Systems : Materials and Devices ; Proc.of Symp.DD of MRS Fall Meeting 2007, Boston, Mass., November 26-30, 2007 Warrendale, Pa. : MRS, 2008 1052-DD07-11 (Materials Research Society Symposium Proceedings ; 1052) |