Batch fabrication methods for active polymer microsystems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8007-3081-0 KITopen-ID: 170071368 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Seiten | 189-91 |
| Erscheinungsvermerk | Gessner, T. [Hrsg.] Smart Systems Integration 2008 : 2nd European Conf.and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, MOEMS, ICs and Electronic Components, Barcelona, E, April 9-10, 2008 With CD-ROM Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2008 |