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Batch fabrication methods for active polymer microsystems

Grund, T.; Kohl, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-3081-0
KITopen ID: 170071368
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Seiten 189-91
Erscheinungsvermerk Gessner, T. [Hrsg.] Smart Systems Integration 2008 : 2nd European Conf.and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, MOEMS, ICs and Electronic Components, Barcelona, E, April 9-10, 2008 With CD-ROM Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2008
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