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Batch fabrication of polymer microsystems with shape memory microactuators

Grund, T.; Cuntz, T.; Kohl, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-4244-1793-3
KITopen ID: 170071370
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Seiten 423-26
Erscheinungsvermerk Technical Digest MEMS 2008 : 21st IEEE Internat.Conf.on Micro Electro Mechanical Systems, Tucson, Ariz., January 13-17, 2008 Piscataway, N.J. : IEEE Operations Center, 2008 Auch als Online-Ausg. erschienen
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