Batch fabrication of polymer microsystems with shape memory microactuators
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4244-1793-3 KITopen-ID: 170071370 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Seiten | 423-26 |
| Erscheinungsvermerk | Technical Digest MEMS 2008 : 21st IEEE Internat.Conf.on Micro Electro Mechanical Systems, Tucson, Ariz., January 13-17, 2008 Piscataway, N.J. : IEEE Operations Center, 2008 Auch als Online-Ausg. erschienen |