| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-2-35500-006-5 KITopen-ID: 170071380 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Erscheinungsvermerk | Bright, V. [Hrsg.] Symp.on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2008), Nice, F, April 9-11, 2008 Grenoble : EDA Publ., 2008 Publ.in the web |
| Externe Relationen | Siehe auch |