| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 3-933339-10-3 KITopen-ID: 170072018 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Seiten | 386-89 |
| Erscheinungsvermerk | Actuator 2008 : 11th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 9-11, 2008 Bremen : HVG Hanseatische Veranstaltungs-GmbH, Div.Messe Bremen, 2008 |