Galvanoformung als Baustein für die (Serien-)Fertigung von mikrostrukturierten Werkzeugen und metallischen Mikrobauteilen
Guttmann, M.; Bade, K.
; Kaiser, K.; Meyer, P.; Matthis, B.; Mehne, C.; Wissmann, M.
; Kaiser, K.; Meyer, P.; Matthis, B.; Mehne, C.; Wissmann, M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170072127 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Seiten | 61-67 |
| Erscheinungsvermerk | Dzur, B. [Hrsg.] 15.Workshop Plasma- und Oberflächentechnik, Ilmenau, 26.-27.Juni 2008 Tagungsband Ilmenau : Techn.Univ., 2008 |