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Galvanoformung als Baustein für die (Serien-)Fertigung von mikrostrukturierten Werkzeugen und metallischen Mikrobauteilen

Guttmann, M.; Bade, K.; Kaiser, K.; Meyer, P.; Matthis, B.; Mehne, C.; Wissmann, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2008
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 170072127
HGF-Programm 43.01.03; LK 01
Seiten 61-67
Erscheinungsvermerk Dzur, B. [Hrsg.] 15.Workshop Plasma- und Oberflächentechnik, Ilmenau, 26.-27.Juni 2008 Tagungsband Ilmenau : Techn.Univ., 2008
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