Hot embossing of high aspect ratio sub-μm structured surfaces for micro fluidic applications

Heckele, M.; Worgull, M.; Mappes, T.; Tosello, G.; Metz, T.; Gavillet, J.; Koltay, P.; Hansen, H. N.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 978-1-904445-76-0 KITopen-ID: 170072144
HGF-Programm	43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation
Seiten	209-12
Erscheinungsvermerk	Dimov, S. [Hrsg.] 4M 2008 : Proc.of the 4th Internat.Conf.on Multi-Material Micro Manufacture, Cardiff, GB, September 9-11, 2008 Dunbeath : Whittles Publ., 2008