Replication of micro-optical components and nano-structures for mass production

Wissmann, M.; Guttmann, M.; Mohr, J.; Hartmann, M.; Wilson, S.; Moran-Iglesias, C. J.; Erps, C. J. van; Krajewski, R.; Parriaux, O.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 978-0-8194-7190-1 KITopen-ID: 170072508
HGF-Programm	43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation
Seiten	699208/1-12
Erscheinungsvermerk	Thienpont, H. [Hrsg.] Photonics Europe : Micro Optics ; Proc.of the Conf.,Strasbourg, F, April 7-9, 2008 Bellingham, Wash. : SPIE, 2008 (SPIE Proceedings Series ; 6992)