Replication of micro-optical components and nano-structures for mass production
Wissmann, M.; Guttmann, M.
; Mohr, J.; Hartmann, M.; Wilson, S.; Moran-Iglesias, C. J.; Erps, C. J. van; Krajewski, R.; Parriaux, O.
; Mohr, J.; Hartmann, M.; Wilson, S.; Moran-Iglesias, C. J.; Erps, C. J. van; Krajewski, R.; Parriaux, O.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-0-8194-7190-1 KITopen-ID: 170072508 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Seiten | 699208/1-12 |
| Erscheinungsvermerk | Thienpont, H. [Hrsg.] Photonics Europe : Micro Optics ; Proc.of the Conf.,Strasbourg, F, April 7-9, 2008 Bellingham, Wash. : SPIE, 2008 (SPIE Proceedings Series ; 6992) |