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Replication of deep micro-optical components prototyped by deep proton writing

van Erps, J.; Wissmann, M.; Guttmann, M.; Hartmann, M.; Desmet, L.; Debaes, C.; Mohr, J.; Thienpont, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-0-8194-7190-1
KITopen ID: 170072509
HGF-Programm 43.01.03; LK 01
Seiten 699209/1-11
Erscheinungsvermerk Thienpont, H. [Hrsg.] Photonics Europe : Micro Optics ; Proc.of the Conf.,Strasbourg, F, April 7-9, 2008 Bellingham, Wash. : SPIE, 2008 (SPIE Proceedings Series ; 6992)
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