Replication of deep micro-optical components prototyped by deep proton writing

Erps, J. van; Wissmann, M.; Guttmann, M.; Hartmann, M.; Desmet, L.; Debaes, C.; Mohr, J.; Thienpont, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 978-0-8194-7190-1 KITopen-ID: 170072509
HGF-Programm	43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation
Seiten	699209/1-11
Erscheinungsvermerk	Thienpont, H. [Hrsg.] Photonics Europe : Micro Optics ; Proc.of the Conf.,Strasbourg, F, April 7-9, 2008 Bellingham, Wash. : SPIE, 2008 (SPIE Proceedings Series ; 6992)