Micro flow sensor from polymer for gases and liquids
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Prozessdatenverarbeitung und Elektronik (IPE) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-00-025529-8 KITopen-ID: 170072832 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Seiten | 385-88 |
| Erscheinungsvermerk | Schnakenberg, U. [Hrsg.] Technical Digest of 19th MicroMechanics Europe Workshop (MME 2008), Aachen, September 28-30, 2008 Aachen : RWTH, Inst.f.Werkstoffe der Elektrotechnik, 2008 |