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Micro flow sensor from polymer for gases and liquids

Ahrens, R.; Schlote-Holubek, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Prozessdatenverarbeitung und Elektronik (IPE)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-00-025529-8
KITopen ID: 170072832
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Seiten 385-88
Erscheinungsvermerk Schnakenberg, U. [Hrsg.] Technical Digest of 19th MicroMechanics Europe Workshop (MME 2008), Aachen, September 28-30, 2008 Aachen : RWTH, Inst.f.Werkstoffe der Elektrotechnik, 2008
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