Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2008 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-3-00-025529-8 KITopen-ID: 170072833 |
HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
Seiten | 259-62 |
Erscheinungsvermerk | Schnakenberg, U. [Hrsg.] Technical Digest of 19th MicroMechanics Europe Workshop (MME 2008), Aachen, September 28-30, 2008 Aachen : RWTH, Inst.f.Werkstoffe der Elektrotechnik, 2008 |