Batch fabrication methods for polymer based active microsystems using hot embossing and transfer bonding technologies
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-904445-76-0 KITopen-ID: 170072871 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Seiten | 39-41 |
| Erscheinungsvermerk | Dimov, S. [Hrsg.] 4M 2008 : Proc.of the 4th Internat.Conf.on Multi-Material Micro Manufacture, Cardiff, GB, September 9-11, 2008 Dunbeath : Whittles Publ., 2008 |