Wafer-scale manufacturing of robust trimorph bulk SMA microactuators

Sandström, N.; Braun, S.; Grund, T.; Stemme, G.; Kohl, M.; Wijngaart, W. van der

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 978-1-904445-76-0 KITopen-ID: 170072872
HGF-Programm	43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Seiten	42-45
Erscheinungsvermerk	Dimov, S. [Hrsg.] 4M 2008 : Proc.of the 4th Internat.Conf.on Multi-Material Micro Manufacture, Cardiff, GB, September 9-11, 2008 Dunbeath : Whittles Publ., 2008