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Studies on the optical homogeneity of the microinterferometer fabricated with hot embossing technology

Krajewski, R.; Kujawinska, M.; Wissmann, M.; Kumar, N.; Thienpont, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170073074
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Seiten 188-89
Erscheinungsvermerk Technical Digest of the 14th Microoptics Conf., Bruxelles, B, September 25-27, 2008 Tokyo : Optical Society of Japan, Microoptics Group, 2008
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