Studies on the optical homogeneity of the microinterferometer fabricated with hot embossing technology

Krajewski, R.; Kujawinska, M.; Wissmann, M.; Kumar, N.; Thienpont, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170073074
HGF-Programm	43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Seiten	188-89
Erscheinungsvermerk	Technical Digest of the 14th Microoptics Conf., Bruxelles, B, September 25-27, 2008 Tokyo : Optical Society of Japan, Microoptics Group, 2008