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Photolothography of variable depth gratings on a polymer substrate for the mastering of 3D diffractive optical elements

Tonchev, S.; Jourlin, Y.; Reynaud, S.; Guttmann, M.; Wissmann, M.; Krajewski, R.; Joswik, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170073075
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Seiten 160-61
Erscheinungsvermerk Technical Digest of the 14th Microoptics Conf., Bruxelles, B, September 25-27, 2008 Tokyo : Optical Society of Japan, Microoptics Group, 2008
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