Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2009 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-4244-4193-8 KITopen-ID: 170075708 |
HGF-Programm | 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
Seiten | 41-44 |
Erscheinungsvermerk | 15th Internat.Conf.on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2009), Denver, Colo., June 21-25, 2009 Technical Digest Piscataway, N.J. : IEEE, 2009 |