| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4244-4193-8 KITopen-ID: 170076119 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF II, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Seiten | 85-87 |
| Erscheinungsvermerk | 15th Internat.Conf.on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2009), Denver, Colo., June 21-25, 2009 Technical Digest Piscataway, N.J. : IEEE, 2009 |