Laser-assisted material processing in microsystem technology - structuring, bonding and modification
Pfleging, W.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170076479 |
| HGF-Programm | 43.03.07 (POF II, LK 01) Materalien für Energiesysteme |
| Erscheinungsvermerk | Frijns, A.J.H. [Hrsg.] 1st Internat.GASMEMS Workshop, Eindhoven, NL, September 7-8, 2009 Proc.on CD-ROM Keynote Paper 1C |