Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Nano- und Mikrosysteme (NANOMIKRO) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2009 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170076808 |
HGF-Programm | 43.98.01 (POF II, LK 01) Programme Management |
Seiten | 11-24 |
Erscheinungsvermerk | Saile, V. [Hrsg.] 4M/ICOMM 2009 : The Global Conf.on Micro Manufacture, Karlsruhe, September 23- 25, 2009 London : Professional Engineering Publ., 2009 Engineering Conferences Online |
Externe Relationen | Abstract/Volltext |