Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2009 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-3183-1 KITopen-ID: 170076812 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
Seiten | 495-98 |
Erscheinungsvermerk | MikroSystemTechnik Kongress 2009, Berlin, 12.-14.Oktober 2009 Proc.auf CD-ROM Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2009 |