| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170076921 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF II, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Seiten | 93-98 |
| Erscheinungsvermerk | Vollertsen, F. [Hrsg.] 4.Kolloquium Mikroproduktion : Fachbeiträge der vier SFB der Mikrotechnik, Bremen, 28.-29.Oktober 2009 Bremen : BIAS Verl., 2009 |