KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Alternative Fertigungsverfahren für Formeinsätze durch galvanische Replikation von mikro- und nanostrukturierten Bauteilen

Wissmann, M.; Guttmann, M.; Hartmann, M.; Beiser, M.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2009
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-3183-1
KITopen-ID: 170077018
HGF-Programm 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation
Erscheinungsvermerk MikroSystemTechnik Kongress 2009, Berlin, 12.-14.Oktober 2009 Proc.auf CD-ROM Paper 24 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2009
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page