Herstellung von 3-D Mikrospulen in einem effizienten MST-Prozess

Kratt, K.; Badilita, V.; Burger, T.; Mohr, J.; Börner, M.; Korvink, J. G.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2009
Sprache	Deutsch
Identifikator	ISBN: 978-3-8007-3183-1 KITopen-ID: 170077269
HGF-Programm	43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erscheinungsvermerk	MikroSystemTechnik Kongress 2009, Berlin, 12.-14.Oktober 2009 Proc.auf CD-ROM Paper 6 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2009