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Polymer-based micro flow sensor for dynamical flow measurements in hydraulic systems

Ahrens, R.; Festa, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170077270
HGF-Programm 47.01.03 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk Micromechanics Europe (MME'09) : 20th Workshop on Micromachining, Micro Mechanics and Micro Systems, Toulouse, F, September 20-22, 2009 CD-ROM Paper 134 LAAS-CNRS
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