Nanoaktoren auf Basis metallischer Schichtsysteme
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8007-3216-6 KITopen-ID: 170078643 |
| HGF-Programm | 43.01.01 (POF II, LK 01) Lithographie |
| Seiten | 170-74 |
| Erscheinungsvermerk | Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 2.GMM Workshops, Erfurt, 3.-4.März 2010 Berlin : VDE-Verl., 2010 CD-ROM (GMM-Fachbericht ; 63) |