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Nanoaktoren auf Basis metallischer Schichtsysteme

Hartbaum, J.; Jakobs, P.; Kohl, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2010
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-3216-6
KITopen ID: 170078643
HGF-Programm 43.01.01; LK 01
Seiten 170-74
Erscheinungsvermerk Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 2.GMM Workshops, Erfurt, 3.-4.März 2010 Berlin : VDE-Verl., 2010 CD-ROM (GMM-Fachbericht ; 63)
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