Alternative technology for fabrication of nano- or microstructured mould inserts used for optical components
Wissmann, M.; Guttmann, M.
; Hartmann, M.
; Hartmann, M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-0-8194-7986-0 KITopen-ID: 170079027 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
| Erscheinungsvermerk | Maher, M.A. [Hrsg.] Micromachining and Microfabrication Process Technology XV : Proc.of Photonics West, San Francisco, Calif., January 23-28, 2010 Bellingham, Wash. : SPIE, 2010 75900D (Proceedings of SPIE ; 7590) Also publ.online |