Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2010 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-3253-1 KITopen-ID: 170079204 |
HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
Seiten | 56-60 |
Erscheinungsvermerk | Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik : Vorträge des 2.GMM Workshops, Darmstadt, 10.-11.Mai 2010 CD-ROM Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2010 (GMM-Fachbericht ; 65) |