Replication of micro and sub-micro structures by means of hot embossed polymer inserts
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-2-35500-011-9 KITopen-ID: 170079229 |
| HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
| Seiten | 339-43 |
| Erscheinungsvermerk | Courtois, B. [Hrsg.] Collection of Papers Presented at the Symp.on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2010), Sevilla, E, May 5-7, 2010 Grenoble : EDA Publ., 2010 Also on CD-ROM |