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Replication of micro and sub-micro structures by means of hot embossed polymer inserts

Kolew, A.; Sikora, K.; Münch, D.; Worgull, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-2-35500-011-9
KITopen ID: 170079229
HGF-Programm 43.13.02; LK 01
Seiten 339-43
Erscheinungsvermerk Courtois, B. [Hrsg.] Collection of Papers Presented at the Symp.on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2010), Sevilla, E, May 5-7, 2010 Grenoble : EDA Publ., 2010 Also on CD-ROM
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