Alternative mould insert fabrication technology for micromoulding by galvanic replication
Wissmann, M.; Guttmann, M.
; Hartmann, M.; Hofmann, A.
; Hummel, B.
; Hartmann, M.; Hofmann, A.
; Hummel, B.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-2-35500-011-9 KITopen-ID: 170079230 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
| Seiten | 278-83 |
| Erscheinungsvermerk | Courtois, B. [Hrsg.] Collection of Papers Presented at the Symp.on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2010), Sevilla, E, May 5-7, 2010 Grenoble : EDA Publ., 2010 Also on CD-ROM |