Sacrificial layer technology - a route towards freestanding Ni-Mn-Ga films

Yeduru, S. R.; Backen, A.; Fähler, S.; Diestel, A.; Schultz, L.; Kohl, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2010
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 978-3-933339-13-3 KITopen-ID: 170079791
HGF-Programm	43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Seiten	765-68
Erscheinungsvermerk	Borgmann, H. [Hrsg.] Actuator 2010 : 12th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 14-16, 2010 CD-ROM Bremen : WFB Wirtschaftsförderung Bremen GmbH, Div.Messe Bremen, 2010