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Sacrificial layer technology - a route towards freestanding Ni-Mn-Ga films

Yeduru, S.R.; Backen, A.; Fähler, S.; Diestel, A.; Schultz, L.; Kohl, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-933339-13-3
KITopen ID: 170079791
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Seiten 765-68
Erscheinungsvermerk Borgmann, H. [Hrsg.] Actuator 2010 : 12th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 14-16, 2010 CD-ROM Bremen : WFB Wirtschaftsförderung Bremen GmbH, Div.Messe Bremen, 2010
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