Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2010 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-2-35500-011-9 KITopen-ID: 170079793 |
HGF-Programm | 47.01.03 (POF II, LK 01) Biologische Schlüselmoleküle IMT |
Seiten | 299-300 |
Erscheinungsvermerk | Courtois, B. [Hrsg.] Collection of Papers Presented at the Symp.on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2010), Sevilla, E, May 5-7, 2010 Grenoble : EDA Publ., 2010 Also on CD-ROM |