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Front and backside structuring of gratings for phase contrast imaging with X-ray tubes

Kenntner, J.; Grund, T.; Matthis, B.; Boerner, M.; Mohr, J.; Scherer, T.; Walter, M.; Willner, M.; Tapfer, A.; Bech, M.; Pfeiffer, F.; Zanette, I.; Weitkamp, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1117/12.859666
KITopen ID: 170080110
HGF-Programm 43.14.02; LK 01
Seiten 780408
Erscheinungsvermerk SPIE Optics and Photonics Conf., San Diego, Calif., August 1-5, 2010 Stock, S.R. [Hrsg.] Developments in X-ray Tomography VII : Proc.of Optics and Photonics 2010, San Diego, Calif., August 1-5, 2010 Bellingham, Wash. : SPIE, 2010 (Proceedings of SPIE ; 7804)
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