Laser-based micro- and nanopackaging and assembly IV
Pfleging, W.
; Lu, Y.; Washio, K.; Amako, J.; Hoving, W.
; Lu, Y.; Washio, K.; Amako, J.; Hoving, W.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-0-8194-7981-5 KITopen-ID: 170080240 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of Photonics West, San Francisco, Calif., January 23-28, 2010 Bellingham, Wash. : SPIE, 2010 (Proceedings of SPIE ; 7585) Also publ.online |