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Schulz, J.
; Walter, M.; Meyer, P.
; Walter, M.; Meyer, P.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170080761 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erscheinungsvermerk | Commercialization of Micro and Nano Systems Conf. (COMS 2010), Albuquerque, N.M., August 29 - September 2, 2010 Paper publ.online |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |