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Galvanische Fertigung von nano- und mikrostrukturierten Shim-Formeinsätzen

Guttmann, M.; Jakobs, P.J.; Kaiser, K.; Vannahme, C.; Zimmermann, L.; Schelb, M.; Matthis, B.; Straus, C.; Mappes, T.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2010
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8396-0205-8
KITopen ID: 170080947
HGF-Programm 43.01.03; LK 01
Seiten 83-91
Erscheinungsvermerk Michaelis, A. [Hrsg.] Symp.'Galvanik - eine etablierte Technik innovativ angewendet', Dresden, 25.-26.November 2010 Tagungsband Stuttgart : Fraunhofer Verl., 2010 (Schriftenreihe Angewandte Elektrochemie in der Werkstoffwissenschaft ; Bd.2)
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