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Replication of optical components by hot embossing

Worgull, M.; Schneider, M.; Heilig, M.; Kolew, A.; Dinglreiter, H.; Mohr, J.


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1117/12.859077
Dimensions
Zitationen: 7
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170081033
HGF-Programm 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication
Erscheinungsvermerk Thienpont, H. [Hrsg.] Photonics Europe : Micro Optics ; Proc.of the Conf., Bruxelles, B, April 12-16, 2010 Bellingham, Wash. : SPIE, 2010 Paper 771604 (Proceedings of SPIE ; 7716) Also publ.online
Nachgewiesen in Dimensions
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