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Sintered reaction bonded silicon nitride for micro mechanical components

Rögner, J.; Müller, M.; Lang, K.H.; Schulze, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-981-086555-9
KITopen ID: 170082252
HGF-Programm 43.13.02; LK 01
Seiten 231-234
Erscheinungsvermerk Fillon, B. [Hrsg.] Proc.of the 7th Internat.Conf.on Multi-Material Micro Manufacture, Bourg-en- Bresse, F, November 17-19, 2010 Singapore : Research Publishing Services, 2011
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