Sintered reaction bonded silicon nitride for micro mechanical components
Rögner, J.; Müller, M.
; Lang, K. H.; Schulze, V.
; Lang, K. H.; Schulze, V.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-981-086555-9 KITopen-ID: 170082252 |
| HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
| Seiten | 231-234 |
| Erscheinungsvermerk | Fillon, B. [Hrsg.] Proc.of the 7th Internat.Conf.on Multi-Material Micro Manufacture, Bourg-en- Bresse, F, November 17-19, 2010 Singapore : Research Publishing Services, 2011 |