| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4577-0157-3 KITopen-ID: 170083707 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erscheinungsvermerk | Transducers'11 : 16th Internat.Conf.on Solid-Sate Sensors, Actuators and Microsystems, Beijing, China, June 5-9, 2011 Proc.S.1308-1311 Piscataway, N.J. : IEEE, 2011 Also publ.online and on CD-ROM |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |