Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-4577-0157-3 KITopen-ID: 170083707 |
HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
Erscheinungsvermerk | Transducers'11 : 16th Internat.Conf.on Solid-Sate Sensors, Actuators and Microsystems, Beijing, China, June 5-9, 2011 Proc.S.1308-1311 Piscataway, N.J. : IEEE, 2011 Also publ.online and on CD-ROM |
Nachgewiesen in | Dimensions |