Mikrothermoformen und Mikroblasformen nanostrukturierter Polymerfilme. Replikationsverfahren zur Mikro-Nano-Integration

Heilig, M.; Schneider, M.; Hamm, V.; Dinglreiter, H.; Worgull, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2011
Sprache	Deutsch
Identifikator	ISBN: 978-3-8007-3367-5 KITopen-ID: 170084520
HGF-Programm	43.13.02 (POF II, LK 01) Replication
Seiten	716-719
Erscheinungsvermerk	Mikrosystemtechnik-Kongress, Darmstadt, 10.-12.Oktober 2011 Proc.auf CD-ROM Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2011