KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Mikrothermoformen und Mikroblasformen nanostrukturierter Polymerfilme. Replikationsverfahren zur Mikro-Nano-Integration

Heilig, M.; Schneider, M.; Hamm, V.; Dinglreiter, H.; Worgull, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2011
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-3367-5
KITopen ID: 170084520
HGF-Programm 43.13.02; LK 01
Seiten 716-719
Erscheinungsvermerk Mikrosystemtechnik-Kongress, Darmstadt, 10.-12.Oktober 2011 Proc.auf CD-ROM Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2011
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page