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Fehlertolerante und fertigungsgerechte Entwurfsauslegung mikrooptischer Systeme

Sieber, I.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2011
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-3367-5
KITopen ID: 170084673
HGF-Programm 43.14.03; LK 01
Seiten 952-955
Erscheinungsvermerk Mikrosystemtechnik-Kongress, Darmstadt, 10.-12.Oktober 2011 Proc.auf CD-ROM Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2011
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