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A method to create complementary panels and beams for microstructures with very high aspect ratio

Nazmov, V.; Last, A.; Marschall, F.; Mohr, J.; Simon, M.; Vogt, H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-3367-5
KITopen-ID: 170085009
HGF-Programm 43.04.03 (POF II, LK 01) Röntgenoptik
Erschienen in MikroSystemTechnik Kongress 2011: Proceedings ; 10. - 12. Oktober 2011, Darmstadt
Veranstaltung MikroSystemTechnik Kongress (2011), Darmstadt, Deutschland, 10.10.2011 – 12.10.2011
Verlag VDE Verlag
Erscheinungsvermerk Mikrosystemtechnik-Kongress, Darmstadt, 10.-12.Oktober 2011 Proc.auf CD-ROM Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2011 - ??
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