A method to create complementary panels and beams for microstructures with very high aspect ratio
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8007-3367-5 KITopen-ID: 170085009 |
| HGF-Programm | 43.04.03 (POF II, LK 01) Röntgenoptik |
| Erschienen in | MikroSystemTechnik Kongress 2011: Proceedings ; 10. - 12. Oktober 2011, Darmstadt |
| Veranstaltung | MikroSystemTechnik Kongress (2011), Darmstadt, Deutschland, 10.10.2011 – 12.10.2011 |
| Verlag | VDE Verlag |
| Erscheinungsvermerk | Mikrosystemtechnik-Kongress, Darmstadt, 10.-12.Oktober 2011 Proc.auf CD-ROM Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2011 - ?? |