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A method to create complementary panels and beams for microstructures with very high aspect ratio

Nazmov, V.; Last, A.; Marschall, F.; Mohr, J.; Simon, M.; Vogt, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-3367-5
KITopen ID: 170085009
HGF-Programm 43.04.03; LK 01
Seiten 658
Erscheinungsvermerk Mikrosystemtechnik-Kongress, Darmstadt, 10.-12.Oktober 2011 Proc.auf CD-ROM Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2011 - ??
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