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Mikrosensorsystem auf Basis paralleler integriert-optischer Mach-Zehnder-Interferometer in neuartigem Polymer

Sieber, H.; Boehm, H.J.; Schüle, S.; Hollenbach, U.; Mohr, J.; Ostrzinski, U.; Pfeiffer, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2011
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-3367-5
KITopen-ID: 170085149
HGF-Programm 43.14.03 (POF II, LK 01)
Seiten 94
Erscheinungsvermerk Mikrosystemtechnik-Kongress, Darmstadt, 10.-12.Oktober 2011 Proc.auf CD-ROM Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2011 - ??
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